扫描电镜服务制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。打开镜筒上部的发射仓顶盖，使用专业工具来提取镜筒中的衬管，提取过程取出之后，然后再用专用工具的另外一根专用工具插入衬管中，慢慢推出衬管中的几个光阑。衬管和光阑清洗完成后，经烘烤后趁热依照光阑的原来的顺序倒过来，按专用工具上的规定的距离刻度依次推进到衬管中的原位置。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
扫描电镜服务有些探测器造价昂贵，比如背散射电子探测器，这时，可以使用二次电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。
对于扫描电镜而言，靠近钨灯丝最近的零件为栅极片，而栅极片的尺寸和形状对于电子源交叉束斑的尺寸大小、形状乃至亮度都有直接的影响。光栅通常采用钽等耐高温又不易氧化的材料制成，光栅的中心孔直径约500μm。由于负偏压的存在，入射的高能电子束虽然没有直接接触到光栅，但是钨阴极的加热温度高达2700K左右，而且其阴极尖距离光栅的中心孔边缘约0.5mm，所以光栅容易受到阴极挥发出来的钨和氧化物的污染，因此光栅需要经常进行清洗，否则时间久了，容易造成钨阴极和光栅之间的打火现象。清洗光栅和阳极帽上的氧化钨及其他污染物，可用金属抛光液进行擦拭清洗，然后擦拭光亮后，用流水进行清洗，再依次分别放入氢氧化钾的酒精溶液，双氧水，丙酮，高纯度酒精中，进行超声波清洗，最后再用红外烘烤灯15min趁人进行组装。
扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异，在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异，从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是最主要的成像信号[。为其成像原理图，高能电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
扫描电镜服务衬管和光阑是电子束和透镜磁场的部位，而且光阑还是电子枪至样品仓这段通道中最狭小的关隘。衬管和聚光镜光阑都是用无磁性的不锈钢材料做出的，而物镜光阑通常是用铂、钼或金等无磁性的贵金属材料做成的，一定要用无磁性的金属材料，以避免引入不必要的干扰磁场，这样才不会干扰电子原有的运动轨迹，电子束才能受原设计的轨道运动，也才能让电子束斑尽可能处于螺旋对称的状态。
